微导纳米：iTronix系列CVD系统的部分产品已在试样验证
2023-05-08 14:13:32来源：爱集微
(相关资料图)
集微网消息，近日，有投资者在投资者互动平台提问：公司是否有生产用于半导体的pecvd设备?
微导纳米(688147.SH)5月8日在投资者互动平台表示，公司半导体领域iTronix系列CVD系统，系公司基于客户关键工艺开发的战略需求，正在开发的新产品系列，适用于沉积氧化物、氮化物等薄膜材料。产品可用于芯片制造钝化层、扩散阻挡层、介电层、硬掩膜层与高级图案化层、电容覆盖层等应用领域。截至目前，该系列部分产品已经处于与客户试样验证阶段。
关键词：
海外需求增长持续拉动我国纺织服装产品出口
南宁铁路公安“寻包达人”两年收到旅客锦旗116面
齐齐哈尔市龙江县警方破获一涉案200余万元的“帮信”案件
北京市新增本土确诊病例7例、无症状感染者2例
浙江东阳警方通报：剧组因拍摄致猫死亡等事实不成立
天津大学留学生志愿者：同天津人民一起守护共同的家园
永远意气风发！平均年龄62岁的教授合唱团重阳节唱响
我国首颗太阳探测科学技术试验卫星“羲和号”成功发射
人社部副部长李忠：加强对中小微企业的服务 营造鼓励创新氛围
中国驻俄使馆与新疆维吾尔自治区政府共同举办“新疆是个
